《半导体器件TCAD设计与应用》高清PDF
作者:韩雁,丁扣宝编著
出版:北京:电子工业出版社
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出版时间:2013.03 (求助前请核对清楚)
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本书内容包括半导体工艺及器件仿真工具SentaurusTCAD,工艺仿真工具TSUPREM-4及器件仿真工具MEDICI,工艺及器件仿真工具SILVACO-TCAD,工艺及器件仿真工具ISE-TCAD及工艺仿真工具(DIOS)的优化使用、器件仿真工具(DESSIS)的模型分析,给出ESD防护器件设计验证方法、性能评估和仿真流程及VDMOSFET和IGBT设计仿真验证方法、流程。本书侧重TCAD技术应用,设计流程均经过流片和测试验证,具有代表性和实用性。为适应教学模式改革,本书配套多媒体电子课件。
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