《薄膜晶体管物理、工艺与SPICE建模》高清PDF
作者:雷东著
出版:北京:电子工业出版社
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本书以显示面板设计和制造过程中的经验为依据,详细分析并阐述了TFT的器件物理、制造工艺以及SPICE建模的相关内容。全书分为6章。第1章阐述了TFT用于平板显示的技术原理,以及针对TFT进行SPICE建模前所需要掌握的基础知识。第2章、第3章内容,主要是针对a-SiTFT进行的分析和阐述。第4章、第5章分析了LTPSTFT的器件物理、工艺及SPICE模型。第6章针对目前新型的IGZO工艺进行了阐述,主要介绍了IGZO材料及器件的物理性质,以及业界广泛采用的IGZOTFT的结构和工艺过程。
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