本书针对两种典型的多尺度体系开展研究,以多尺度结构的低成本、面积制备为研究重点,以室温纳米压印和多参数刻蚀为,研究多尺度结构制备中的若干性工艺难题,实现了很小关键尺寸的三维金属纳米结构的高质量、稳定可控的制备。

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