《纳米CMOS器件》高清PDF
作者:甘学温等编著
出版:北京:科学出版社
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出版时间:2004.01 (求助前请核对清楚)
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中国科学院科学出版基金资助出版:本书共六章。内容涉及CMOS器件等比例缩小的发展趋势,缩小到纳米尺寸的CMOS器件面临的挑战,实现纳米图形尺寸的光刻技术等。
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