《三维结构MOS晶体管技术研究》高清PDF
作者:张盛东著
出版:北京:高等教育出版社
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出版时间:2005.09 (求助前请核对清楚)
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全国优秀博士学位论文:本书汇集了作者在三维结构MOS晶体管技术研究方面所取得的主要研究成果。内容涉及背栅、平面双栅、可分离双栅MOS以及三维集成MOS器件。
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