作者：RebeccaCheu著 出版：北京：科学出版社 页数：121    ✅ 真实服务 非骗流量  ❤️ 出版时间：2010.03 （求助前请核对清楚） 求助编号：9126396980 （学习资料 勿作它用） 求助格式：PDF（无水印/扫描版）我要投诉 重要说明：求助即说明同意《文件求助条款》   Word/doc、ePubb、mobi、PPT、TXT

    • 本书主要内容包括碳化硅微机电系统（SiCMEMS）介绍，用于碳化硅MEMS的沉积技术，近年来碳化硅的研究相关进展，碳化硅的干法腐蚀，碳化硅MEMS的设计、性能和应用等。

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