缘衬底上的薄膜硅材料（Silicon-on-insulator，SOI）是一种新型的硅材料，近年来在半导体光电子学领域的应用日益广泛。SOI光波导器件的研究成为目前硅光子学研究的一个热点问题。本书系统地介绍了SOI材料的无源导波光学器件，特别是光开关器件的理论原理以及器件制作方面的最新研究成果。本书叙述深入浅出，理论联系实际。书中大部分内容反映了近几年来SOI无源光波导器件的最新进展。

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