《纳机电系统》高清PDF
作者:(法)劳伦·特拉夫格,朱利安·阿尔卡莫内著;曹峥译
出版:北京:机械工业出版社
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出版时间:2018.04 (求助前请核对清楚)
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本书介绍了MEMS(微机电系统)向NEMS(纳机电系统)的演变、NEMS的相关理论和技术以及相关的前沿研究。书中内容主要讨论了NEMS的机电特性、尺度效应带给NEMS的有趣性能以及目前的制造工艺,为该领域目前和未来的研究提供了清晰的叙述。
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