太阳电池是一种将光能转换为电能的器件，提高器件光学增益和降低电学损失是实现太阳电池能量转换效率提高的永恒话题。硅基纳微米复合结构，是硅微米绒面和硅纳米结构两者的结合，它既具有硅纳米结构阵列几乎不依赖于入射角度的极低表面反射，也可以在保持等量的反射下进行形貌的控制和优化，从而在电学复合损失控制上体现出巨大优势。本书内容主要基于MACE刻蚀方法，分别在大面积单晶硅和多晶硅片上制备硅基纳微米复合结构，并用不同的钝化介质膜对它们实施钝化，进而研究这种复合结构的光学和电学特性优势，并将之应用在单晶硅和多晶硅高效太阳电池上，最终在硅基纳微米复合结构太阳电池器件效率上实现突破。

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