本书利用DMS和EFMS技术制备了TiO2薄膜以及掺杂Al2O3的TiO2薄膜，研究了其结构、光学特性和光催化性能的变化规律，并以此为基础研制了具有减反射和自清洁功能的薄膜。本书主要内容包括：TiO2薄膜的制备及表征仪器、工艺参数对TiO2特性的影响、工艺参数对TiO2薄膜光催化性能的影响、Al2O3掺杂对TiO2薄膜的影响、减反射自清洁薄膜的制备及性能表征等。本书结构合理，条理清晰，内容丰富新颖，是一本值得学习研究的著作。

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