《压电薄膜材料与器件制备技术》高清PDF
作者: 张涛著
出版: 西安:西北工业大学出版社
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出版时间: 2012.09 (求助前请核对清楚)
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本书主要内容分为两个部分。第一部分主要阐述与研究压电薄膜制制备技术,第二部分研究与压电薄膜直接相关的薄膜压电器件制备技术。
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