《微型传感器》高清PDF
作者:董永贵编著
出版:北京:清华大学出版社
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出版时间:2007.07 (求助前请核对清楚)
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清华大学微机电系统工程系列教材:全书共分10章:引言、微传感器与信号、微传感器的常用材料及加工工艺、热学量微传感器、辐射量微传感器、机械量微传感器、磁微传感器、化学量微传感器常用技术、化学量微传感器、微传感器的数据获取。
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