本书系统地论述了纳机电器件的基本概念、尺度效应和耦合问题，纳机电器件基础结构的制造、测试和表征方法，并对纳机电加速度传感器、纳机电声传感器、纳机电谐振器、微流体角速度传感器等纳机电器件进行了深入阐释。

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