《三维集成技术》高清PDF
作者:王喆垚编著
出版:北京:清华大学出版社
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本书全面系统介绍三维集成技术的发展历史、制造实现技术、设计技术以及电学和力学可靠性等相关问题,以从事相关研究开发工作的需求出发,以三维集成实现技术作为线索,深入介绍三维互连制造技术、三维集成方法、三维集成策略、三维集成的电磁学问题、三维集成的热力学及可靠性,以及三维集成的检测与三维集成应用等内容,既包括实现三维集成的主流技术方法,也包括三维集成领域的最新进展。
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