《薄膜材料制备原理、技术及应用 第2版》高清PDF
作者:唐伟忠著
出版:北京:冶金工业出版社
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本书以薄膜材料为中心,介绍了薄膜技术中常用的真空技术基础知识,各种物理和化学气相沉积技术和方法,薄膜材料的形核及生长理论,等。
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