《微纳加工中的精密工件台技术》高清PDF
作者:刘俊标,薛虹,顾文琪著
出版:北京:北京工业大学出版社
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出版时间:2004.12 (求助前请核对清楚)
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电子束、离子束、光子束微纳加工技术系列专著:本书重点讲述微纳加工中的关键部件——精密工件台的结构、原理和主要技术,以及通过精密工作台提高加工精度和生产效率的有效方法。
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