《微细加工技术》高清PDF
作者:王振龙等编著
出版:北京:国防工业出版社
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出版时间:2005.08 (求助前请核对清楚)
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本书主要内容包括:微型机械与微细加工的基础知识;微细切削加工;半导体材料的微细加工技术;微细电加工等微细特种加工技术;高能束流微细特种加工技术等。
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