《微电子材料与制程》高清PDF
作者：陈力俊主编
出版：上海：复旦大学出版社
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出版时间：2005.03 （求助前请核对清楚）
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本书内容包括半导体基本理论、硅晶圆制造、硅晶薄膜、刻蚀技术、光刻技术、离子注入、金属薄膜、氧化介电层、电子封装及材料分析等。
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