《半导体集成电路制造技术》高清PDF
作者：张亚非（等）编著
出版：北京：高等教育出版社
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出版时间：2006.06 （求助前请核对清楚）
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半导体集成电路发展到今天已经形成一个重大产业，本书主要讲述半导体集成电路产业的制造技术，既有基本原理和工艺技术的阐述，也有国内外近期发展状况介绍。根据半导体集成电路器件的基本原理和内部结构以及设计版图，通过半导体材料制备、化学清洗、薄膜淀积、n-p掺杂……
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