《微纳检测技术》系统地介绍了微纳检测领域常用的技术、方法及系统（仪器）。可作为信息领域研究生、本科生及大中专学生的教材使用，也可作为微纳米研究领域科技工作者的参考书籍使用。《微纳检测技术》共分8章，分别为微纳检测技术基础、光学干涉测试技术、微纳形貌检测技术、扫描探针显微镜、扫描电子显微镜、微纳坐标测量技术、微视觉测试技术和全息干涉技术。

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