《超精密气浮定位工作台技术:气浮系统动力学与控制》高清PDF
作者:陈学东,何学明,叶燚玺著
出版:武汉:华中科技大学出版社
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出版时间:2008.01 (求助前请核对清楚)
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本书的主要内容包括:超精密气浮支承技术和精密定位工作台电磁直接驱动的基本理论和技术;超精密气浮支承的建模、有限元分析方法及其数值计算的理论与方法;超精密气浮定位工作台的动力学建模及其动态特性分析;超精密定位工作台的定位运动分析及其控制方法研究等。
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