本书共分9章,系统阐述了准分子激光物理基础,放电泵浦、电子束泵浦、光泵浦准分子激光器技术,高功率准分子激光放大技术,高亮度源技术;介绍了准分子激光对燃烧流场诊断技术、淀积类金刚石薄膜技术、特种加工技术等。

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