《表1 RTCP误差补偿前后比较单位:μm》
补偿方法分为两种:一种是只补偿4项线性误差,另外一种是补偿线性和角度误差。补偿前和补偿后的偏心量见表1。从表中可以看出,如果只补偿RTCP 4项线性误差,球杆仪在xy平面和yz平面径向运动时的精度提高了,但是球杆仪轴向放置时,偏心量变化很小。通过角度误差补偿之后,该轴向放置时的偏心量明显减小,旋转中心偏移量基本在3μm左右。
图表编号 | XD00182290100 严禁用于非法目的 |
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绘制时间 | 2020.08.20 |
作者 | 虞敏、赵建华 |
绘制单位 | 沈机(上海)智能系统研发设计有限公司、沈机(上海)智能系统研发设计有限公司 |
更多格式 | 高清、无水印(增值服务) |