《表1 实验二刻蚀前后胶厚》
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结果：产生稳定的辉光现象，如图3a所示。对刻蚀过后的片子进行膜厚测量，发现没有明显变化，见表1。
| 图表编号 | XD00169159400 严禁用于非法目的 |
|---|---|
| 绘制时间 | 2020.07.06 |
| 作者 | 陈海军、魏宏杰 |
| 绘制单位 | 株洲中车时代半导体有限公司、株洲中车时代半导体有限公司 |
| 更多格式 | 高清、无水印（增值服务） |
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