《表2 不同图形间距 (duty rate) 条宽修正结果》

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《电子束曝光邻近效应修正研究》

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在表1中确认800 nm线条target dose为11.1μC·cm-2，在DRT7_32X图形中，量测dose为11.1μC·cm-2，图形间距1:20、1:10、1:5、1:4、1:3、1:2、1:1.8、1:1.6、1:1.4、1:1.2、1:1，条宽800 nm的线条，建立.DRT文档导入软件对散射参数进行修正，修正结果如表2所示。