《表2 不同的引导图形周期下的LWR结果》

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《化学外延方式的嵌段共聚物定向自组装》

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为了更加清楚地观察周期对共聚物分相的影响，将化学引导图形的周期设为0.95×2L0、0.975×2L0、2L0、1.025×2L0和1.05×2L0，实验中为了考虑制造过程中的工艺随机变化，设置了不同的仿真随机数，即保持除随机数之外的所有参数不变，进行DSA仿真，同时按照上述测量图形LWR的方法对DSA分相后的图形进行LWR计算，计算结果如表2所示，不同周期下LWR均值分别为0.411 4、0.706 0、0.480 2、0.713 7和0.635 2 nm。分析数据得出，当引导图形周期为2L0整数倍时，在±0.05L0周期范围内，共聚物微相分离所得线条图形的LWR最小。但也发现，当引导图形周期进一步增大或减小时，LWR又变小，基于此对二维图像仿真结果进行了观察，如图8所示。图8(a）为引导图形周期为0.95×2L0时分相图形和引导图形对准的局部示意图，图8(b）为引导图形周期为0.975×2L0时的示意图，图8(c）为引导图形周期为2L0时的示意图，图中线条边缘的绿色部分为引导图形，红色为共聚物分相部分。可以看出，随着引导图形周期进一步偏离共聚物自然周期的2倍，共聚物分相图形和引导图形的对准变得越来越差。除此之外，通过观察检测线测量数据发现，对于0.95×2L0周期的图形，几乎所有测量点的LWR值均为9.5 nm，即和目标线条宽度偏差了0.5 nm，这也就说明即使其LWR下降，这种偏差在制造过程中也是不希望出现的。可以得出，当引导图形周期为共聚物自然周期2倍时可以得到LWR最小的共聚物分相结果。