《表1 增大引导图形周期后的LWR结果》
在上述实验仿真的基础上,把化学引导图形的周期设为2L0、3L0和4L0,将引导图形对共聚物“吸附”强度参数设为0.01,退火时间充足,引导图形引导共聚物分相粗糙度比较实验结果如表1所示,其中周期2L0、3L0和4L0仿真随机数均值的LWR分别为0.475 5、0.528 0和0.784 2 nm。
图表编号 | XD00115060600 严禁用于非法目的 |
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绘制时间 | 2020.02.15 |
作者 | 郭成、粟雅娟、陈睿、董立松、张利斌、陈颖、盖天洋、韦亚一 |
绘制单位 | 中国科学院微电子研究所集成电路先导工艺研发中心、中国科学院微电子研究所微电子器件与集成技术重点实验室、中国科学院大学、中国科学院微电子研究所集成电路先导工艺研发中心、中国科学院微电子研究所微电子器件与集成技术重点实验室、中国科学院微电子研究所集成电路先导工艺研发中心、中国科学院微电子研究所微电子器件与集成技术重点实验室、中国科学院微电子研究所集成电路先导工艺研发中心、中国科学院微电子研究所微电子器件与集成技术重点实验室、中国科学院微电子研究所集成电路先导工艺研发中心、中国科学院微电子研究所微电子器件与集成 |
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