《表3 三棱锥结构因素极差值》

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《微热压印制备三棱锥结构减反射薄膜》

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从表3三棱锥因素极差值可知，不同因素对三棱锥结构填充的影响程度是不一样的，通过综合平衡法得到综合的优化方案。从表3中可以看出因素A对三棱锥成形精度影响权重最大，同时通过分析实验结果可以看出三棱锥成形高度随着压印温度的升高而增加，但随着温度的升高带来的成形高度增加的效果在放缓。温度的增加对于二面夹角成形精度的影响是一致的，越高的温度就会获得越小的更接近模芯的夹角，可以看出温度的升高，对二面夹角影响的趋势是有所下降的，因素A对于两项指标的影响呈现出正相关的趋势，故选取A3为加工参数。因素B则处于次要的因素，因素B水平的选取变动对两个指标的影响都较小，对于三棱锥高度选取保压时间B2和B3基本相同，对于二面夹角选取B2更好，同时可以减少保压时间，缩短压印周期，故选择B2为加工参数。因素C则是权重最小的因素，对压印精度的影响程度最小，因素C对二面夹角和高度的影响几乎是一致的，即选择C1、C2、C3均可。从表3中可以看出压印压力的变化对成形高度和二面夹角的影响程度是细微的，为了缩短压印周期故选取C2为加工参数。