《表7 HSLT/TC/THS测试结果(优化4试验)》

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《一种低K工艺产品分层问题的解决方案》


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如表7的测试结果显示,选取优化4试验后的样品各26颗分别进行HTSL(High Temperature Storage Life高温存储寿命)/TC(Temperature Cycling温度循环)/THB(Temperature Humidity bias温度湿度偏置)试验,结果均Pass。