《表2 静态累积比较法真空漏孔校准结果不确定度评定》

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《静态累积比较法真空漏孔校准方法研究》


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真空漏孔选用一只薄膜渗氦型真空漏孔,流量计选用固定流导式气体微流量计,校准数据见表1。静态累积比较法真空漏孔校准结果不确定度评定结果见表2。