《表1 系统空腔稳定性测试数据结果》

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《Φ200mm口径长焦距球面干涉测试及装备》


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同时进行10组16次系统重复测试,统计计算知RMS的重复性为0.001 8λ@632.8 nm,优于λ/[email protected] nm,系统空腔重复性测试结果如表1所示。