《表2 硅棒棒径60 mm的正交试验结果》

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《数值建模在电子级多晶硅制备中的应用》

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对Fi试g.9验T样he品ele进ctr行oni了c g规rad定e p的oly检silic测on，pr具odu体cts结果如表3所示。从表中可以看出，通过运行模拟优化后的还原曲线，可以得到多晶硅各项指标均较为优化的结果，各项指标均能保证在多晶硅国家标准电子级硅料要求的范围之内。