《表3 气体析出减少实验结果》
CF光阻材料在制备过程中均会产生气体。我们分析OC制备工艺中影响气体析出的工艺参数,确认减压干燥(Vacuum Dry,VCD)终压、减压干燥保持时间、烘烤温度、烘烤时间对OC气体析出均有影响,故对上述4个参数进行了试验,制备出同尺寸TN产品,并进行85℃/85%RH,336h测试,结果如表3所示。可以看出CF OC VCD终压降低、VCD保持时间增加、OC烘烤温度升高可减少气泡发生率,对改善气泡不良有帮助。
图表编号 | XD0080528900 严禁用于非法目的 |
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绘制时间 | 2019.07.01 |
作者 | 王超、徐习亮、姚之晓、朱东艳、王健 |
绘制单位 | 北京京东方显示技术有限公司、北京京东方显示技术有限公司、北京京东方显示技术有限公司、北京京东方显示技术有限公司、北京京东方显示技术有限公司 |
更多格式 | 高清、无水印(增值服务) |