《表1 氦氖激光源的整形系统》

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《基于ZEMAX的血细胞分析仪光束整形系统设计》

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在软件中设置相应的镜片参数，如表1所示，建立对应的光路模型，如图2所示。通过仿真可以看出现有的氦氖光源系统在鞘流液路中心位置的光斑形状呈椭圆形:X方向0.216 mm、Y方向0.018 9 mm，光斑中心能量:39.186 9，如图3所示。