《表1 NiTi形状记忆合金的高温氧化工艺》

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《纳米压痕法测定NiTi形状记忆合金表面氧化膜纳米硬度和弹性模量》

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试验用原材料为NiTi形状记忆合金，采用线切割将原材料制成规格为0.5 cm×0.5 cm×0.2 cm的片状正方形，试验前首先将NiTi形状记忆合金表面依次用W50、W20、W10、W5的金相砂纸进行机械打磨直至划痕较浅且方向一致后在抛光机上进行抛光，这两步主要是为了去除NiTi形状记忆合金表面的氧化皮和宏观缺陷从而使得试样表面更加光滑；然后依次在超声波中用无水乙醇和去离子水清洗10 min，这一步主要是为了去除经过机械打磨和抛光后在试样表面残留的磨屑和污染物等；最后取出试样用去离子水冲洗干净再用吹风机冷风吹干。将前处理后的NiTi形状记忆合金放置于箱式电阻炉中，通过改变衬底温度、氧化处理时间，设定相关的试验条件，进行高温氧化处理。处理条件如表1所示，然后对制备的经高温氧化处理后的NiTi形状记忆合金试样进行纳米压痕测试。