《表2 ISO算法评定结果》

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《台阶高度评定算法的适应性研究》

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由表1~3可看出:对于添加高斯白噪声的仿真曲线，直方图法、ISO算法和Two-sided算法在10~50 d B范围内标准差分别小于27.897 nm、13.734 nm和16.309 nm。直方图法在信噪比为10 d B、20 d B下平均值为1.760 nm、1.789 nm，与标称高度值相差较大，且在统计采集的轮廓数据时，实际台阶高度直方图中并不只有2个峰值，可能出现多个相同的极大值，而在极大值的选取上没有统一标准，即通过2个频数最高的横坐标点来计算台阶高度也会使计算结果出现误差。ISO算法在不同信噪比下标准差为16.309 nm、6.438 nm、0.859 nm、1.288 nm、0.429 nm，计算结果与标称台阶高度值1.8μm十分接近，表现出较好的准确性和可信度。当信噪比小于30 d B，Two-sided算法受到噪声影响，计算出的台阶高度值波动较大，在10 d B和20 d B时，最大相对误差达到6.056%和2.889%，且人为的设定边缘忽略数据长度w/x会影响计算结果。当信噪比大于30 d B时，3种台阶高度算法均具有良好的评定结果。根据仪器性能选择扫描区域，适当调整滤波长度也会使评定结果更加合理化。