《表1 旋流器结构尺寸：用于硅片切割废液Si和SiC分离旋流器的锥角影响研究》

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《用于硅片切割废液Si和SiC分离旋流器的锥角影响研究》

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单位：mm

使用Solidworks三维软件对?20 mm微型旋流器进行三维建模，旋流器结构如图1a所示（Ds为筒体直径，Do为溢流管直径，Du为底流口直径，Ls为柱段高度，Li为入口高度，Lo为溢流管插入深度，θ为锥角），结构参数如表1所示。采用ANSYS中的ICEM CFD15.0软件划分网格，网格单元为六面体结构化网格，整个三维模型划分了150590个网格，网格划分结果如图1b所示。