《表1 氧化铝、氧化硅浆料的特征参数》
在相同入射能量下,氧化硅浆料的固化厚度比氧化铝大,在输入能量为10 m J/cm2时(曝光2 s),氧化铝的固化厚度为123μm,氧化硅的固化厚度为158μm。随着入射能量的增加,两种材料的固化厚度逐渐增大,且氧化硅的增长速率更大,当输入能量为100 m J/cm2时(曝光20 s),氧化铝的固化厚度为330μm,氧化硅的固化厚度为688μm。表1列出了氧化硅和氧化铝两种浆料的固化特征参数,氧化铝浆料和氧化硅浆料的特征固化深度分别为202μm和528μm,说明氧化硅浆料的透光性明显强于氧化铝浆料,而从临界曝光强度看,氧化铝浆料更容易引发固化反应。
图表编号 | XD00222540000 严禁用于非法目的 |
---|---|
绘制时间 | 2020.09.10 |
作者 | 裘芸寧、胡可辉、吕志刚 |
绘制单位 | 摩擦学国家重点实验室、清华大学机械工程系、摩擦学国家重点实验室、清华大学机械工程系、摩擦学国家重点实验室、清华大学机械工程系 |
更多格式 | 高清、无水印(增值服务) |