《表5 合成反应过程正交实验数据》

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《咪唑啉缓蚀剂工艺条件优化及效果》

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通过极差分析得到中间体合成的最佳反应条件为A3B1C3，即当原料配比为1∶1.3，催化剂的质量分数为1.2%，环化时间为1 h时，合成缓蚀剂的工艺条件最佳，且优化条件B1>C3>A3，表明环化时间对缓蚀剂的合成工艺影响最大，其次是催化剂用量，最后为原料配比．