《表2 变焦系统的指标设计》

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《光学元件缺陷在线检测光学系统设计分析》

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在检测过程中，需要将光学元件成像面的明亮程度大致相同，则需要保证有充足的光进量。另外还需要使得系统的相对孔径F不变。然后将相关指标像素尺寸设置为5.5μm×5.5μm，有效像素元素设置为2048×2048，CCD尺寸设置为11.264mm，该相关指标的设计能够使得检测留有扩展空间。在设计变焦系统时，由于使用的激光光源照明，设计时需要针对某一特定波长的光进行。表2即为在线检测光学系统的相关指标设计。