《表2 氦检漏仪的主要参数》

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《核电厂含氢废气处理系统氦检漏技术研究》

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目前市面流行机型主要有Leybold PHOENIX L300i系列、ULVAC HELIOT700/900系列、INFICON系列的UL1000氦质谱检漏仪等，也是目前TEG系统氦检漏系统所采用的常用机型。其主要性能参数如下表2所示。