《表1 4 第1种SF6精制流程》

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《气相色谱法在六氟化硫制备中的应用》

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经过高压吸附塔吸附后进入高沸塔，经高沸塔塔顶进入低沸塔，从低沸塔塔顶流出，气体品质变化如表14所示。从表14可以看出，现行的六氟化硫气体净化处理工艺，均可很好的实现对六氟化硫气体的净化，且在净化能力上完全满足现行标准的要求。同时，对测试结果进行分析可得，O2、N2、CO、CF4、CO2、C2F6、C3F8、CS2、SO2、SO2F2在气体的净化工程中含量变化较大，可以作为特征组分。同时，大量的试验证明，通过吸附和精馏工艺，气体中的酸性物质和硫化物是最容易去除，也是最难残留的。通过分析气体中的其他组分，可以实现对酸度和可水解氟化物的替代。