《表1 外部尺寸测量：超宽带矩形微同轴滤波器制备及性能分析》
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测量滤波器外部结构尺寸，与设计值对比分析工艺误差，如表1所示，线宽误差在4μm范围内，器件厚度误差在±7μm范围内。
| 图表编号 | XD00158007900 严禁用于非法目的 |
|---|---|
| 绘制时间 | 2020.05.01 |
| 作者 | 汪郁东、赵广宏、陈春明、陈青松、谷胜明、许进 |
| 绘制单位 | 北京遥测技术研究所、北京遥测技术研究所、北京遥测技术研究所、北京遥测技术研究所、北京遥测技术研究所、西北工业大学电子信息学院 |
| 更多格式 | 高清、无水印（增值服务） |
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