《表1 压力测量输出结果：基于HART协议的高精度单晶硅压力变送器》

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《基于HART协议的高精度单晶硅压力变送器》

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本文选取压力测量范围为：0～200kPa，工作温度范围为-20～70℃。由以上实验数据可以看出，单晶硅压力传感器本身良好的稳定性加上创新的软件温度补偿算法，最终测量结果具有很高的精度，达到全温度范围全量程范围内满足0.075%的精度，完整修正了温度的影响。如表1所示。