《表1 悬臂梁的Z向位移量》

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《低驱动电压RF MEMS悬臂梁开关的对比研究》

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注：表中“-”意为位移量已经远大于临界不稳定状态的位移，所以没有统计。

表1中列出了不同形状的梁在不同驱动电压下的Z向位移量的具体值，并给出了不同梁的驱动电压，验证了增大局部驱动面积和降低弹性系数的悬臂梁可以减小驱动电压。然后在相同梁长的情况下对比了通过上述两种方法设计的悬臂梁的驱动电压大小，由对比结果可知，在梁长、厚度和初始间隙等参数一致的情况下，低弹性系数的梁对降低驱动电压的效率比局部增大驱动面积要高很多。