《表2 3种排风口出入口流量检测值 (平均值)》
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《基于Fluent的半导体湿法腐蚀过程中的废气排放流场研究》
对3种排风口的流量检测，横条排风口比没有排风口出口流量要多一些，进气口吸入的气体相比要多一些。横条排风口更容易将废气排出。数据如表2所示。
| 图表编号 | XD0014940500 严禁用于非法目的 |
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| 绘制时间 | 2018.10.20 |
| 作者 | 李燕玲、黄鑫亮、王勇威、郭立刚、王文丽、夏楠君 |
| 绘制单位 | 中国电子科技集团公司第四十五研究所、中国电子科技集团公司第四十五研究所、中国电子科技集团公司第四十五研究所、中国电子科技集团公司第四十五研究所、中国电子科技集团公司第四十五研究所、中国电子科技集团公司第四十五研究所 |
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