《表1 TC4合金的化学成分》

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《TC4钛合金表面沉积TiCN涂层及其耐磨耐腐蚀性能研究》

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实验基体采用尺寸规格为?35 mm×3 mm的TC4钛合金（见表1）。源极材料采用尺寸规格为?100 mm×10 mm的钛靶，及尺寸为100 mm×10 mm×5 mm的石墨靶材。具体工艺参数：第一阶段（渗纯Ti阶段），源极电压900～950 V，工件电压300～400 V，气压35 Pa，极间距（基体和靶材之间的距离）8 mm，沉积时间2 h；第二阶段，钛靶材和石墨靶材交替摆放，极间距8 mm，气压35 Pa，工作气体为氩气和氮气，其中Ar/N2流量比为60:1，工件电压300～400 V，源极电压900～950 V，沉积时间3 h。