《表1 TDLAS微水实验测量均值结果与湿度发生装置对比》

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《GIS气室SF_6气体微水激光检测系统的设计及溯源实验研究》

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每个露点下实验采集86组数据，实验结果均值如表1所示，湿度发生器产生的微水气源稳定可靠，与溯源标定拟合的指数函数表达式（6）一致。通过Matlab计算得到TDLAS测量的露点曲线如图8（a）所示，最小二乘线性拟合函数表达式为y=5.0685x-55.84，线性系数R2=0.9991，与湿度发生器设定及显示的露点线形有很好的一致性。从图中可以看出，该拟合直线在-35℃以上拟合较好，随着露点温度降低，和拟合函数存在一定残差，-35℃时存在最大残差为0.798℃，最大测量误差为1.98%，验证了检测系统的可靠性。