《表4 优化前后设备投资对比》

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《多晶硅尾气吸附塔再生气回收工艺的节能优化及流程模拟》

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再生气回收工艺节能优化设计的本质是利用加压冷凝，实现节能并降低冷媒品位，达到节能的目的。另一方面，工艺优化后，氯硅烷废液不再需要加压泵便可送去精馏，氟利昂冷媒由-40℃机组变为-10℃机组，设备投资大大降低。再生气回收节能优化设计前后的设备投资如表4所示。