《表4 氟化物精密度实验结果》

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《气相色谱—质谱联用法对电子气中痕量氟化物的定性与定量》

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选取最小稀释浓度0.2μmol/mol作为精密度实验的分析浓度。四种氟化物分别重复测试6次，记录6次定量特征离子的色谱峰面积，计算检测结果和相对标准偏差RSD（n=6），结果列于表4中。由表4可以看出，较小浓度下的四种氟化物均有很好的检测重复性，相对标准偏差均小于4%，该方法能够作为可靠的微痕量氟化物含量的测试方法。